5系的兩種ATOS ScanBox型號中都采用最高級性能的ATOS Triple Scan測量頭。得益于自動精度標定，即使在測量大型部件時也能達到高精度。在整個測量期間，持續監控部件和測量頭之間的相對位置，由此及時發現和排除環境影響的干擾。

5系設備設計巧妙，在一天之內即可完成組裝和拆卸，并便于快速方便地將其運送到其他地點。

除了機器人和轉動臺外，還有系統各種模塊中或模塊上的整個控制、安全和功率電子等組成部分，這些系統模塊的尺寸均為歐式托盤大小，可以很方便地使用托盤車進行搬運。